Suché vakuové čerpadlo

ULVAC Model LR600

Zde nabízíme suché vakuové čerpadlo ULVAC.
Suché vakuové čerpadlo ULVAC
Řešení pro náročné procesy
Suché vakuové čerpadlo
Jedinečný přístup společnosti ULVAC k využití latentního tepla v tělese čerpadla umožňuje sériím LR / HR / UR poskytovat spolehlivý výkon i při nejnáročnějších procesech.
ULVAC zaměřil své konstrukční úsilí na zajištění mimořádně rovnoměrné vysoké teploty ve všech stupních čerpadla a optimalizoval tuto rodinu čerpadel pro CVD a leptací aplikace.
Kompatibilní se systémem ECO-SHOCK od ULVAC pro další úsporu energie
Vlastnosti
Čerpadlo řady LR je určeno pro komory s přechodovou komorou a procesy PVD.
Unikátní hliníková konstrukce ULVAC zajišťuje velmi rovnoměrné rozložení teploty v celém tělese čerpadla:
Čerpadlo ULVAC LR je určeno pro aplikace, které vyžadují vyhřívané čerpadlo, vyhřívané plynové nebo výfukové potrubí.
Vynikající schopnost čerpání helia
Motor v konzervě pro bezpečnost a snadnou údržbu
Odolává výpadkům proudu až 500 ms.
Vnitřní komponenty jsou speciálně upraveny, aby byla zajištěna vysoká povrchová tvrdost a vynikající odolnost proti korozi.
Tím je zabráněno opotřebení vnitřních částí čerpadla při vystavení korozivním plynům.
(Řada LR)
Navrženo pro procesní plyny, které vytvářejí práškové vedlejší produkty, jako jsou pece na růst Si krystalů
Iiodpfx Aozdqtgslhec
Předčerpadlo pro turbomolekulární a mechanická zvyšovací čerpadla
Typ: LR600
Stav: nové / new
Dodávka zahrnuje: (viz obrázek)
(Změny a omyly v technických údajích jsou vyhrazeny!)
Další dotazy rádi zodpovíme po telefonu.

Inzerát byl přeložen automaticky. Mohou se vyskytnout chyby v překladu.