Zařízení pro naprašování

Aurion B-VPA-28

Zařízení pro naprašování – Aurion Anlagentechnik

Výrobce: Aurion Anlagentechnik
Typ zařízení: B-VPA-28
Sériové číslo: 302343

Technické údaje a vybavení

Zařízení pro naprašování má vlastní hmotnost přibližně 7 000 kg a rozměry 6 217 × 3 500 × 2 100 mm (Š × H × V), a to bez vakuových čerpadel. Objem komory činí přibližně 670 litrů. Maximální okolní teplota je 25 °C.

Elektrické připojení k síti se provádí při 400/230 V a 50 Hz. Příkon činí přibližně 100 kVA a proudová spotřeba je přibližně 125 A.

Systém pro substráty a vytápění

Rozměry substrátu: 38 × 31 × 1,08 mm

Transportní palety: 416,9 × 504,5 mm

Kapacita: 144 substrátů na jednu transportní paletu

Vytápění substrátu až do maximální teploty 250 °C

Vakuový a procesní plynový systém

Dosahovaná konečná hodnota tlaku: < 1 × 10⁻⁷ hPa

Procesní plyn: Argon

2 průtokové regulátory Bronkhorst F-201CS, každý s průtokem 500 mln/min

Systém pro nanášení vrstev

2 generátory stejnosměrného proudu ADL GX 150/800, každý s výkonem 15 kW

Vakuové komponenty (Pfeiffer Vacuum)

4 × předvakuové čerpadlo DUO 35

2 × předvakuové čerpadlo DUO 65

2 × rotační pístové čerpadlo Okta 500
Chodpfx Ae Ah Tlgjqtod

3 × turbopumpa HiPace 1200 U

1 × turbopumpa HiPace 2300 U

Ventilová technika firmy VAT

Řídicí a automatizační technika

Řízení zařízení je založeno na řídicím systému Siemens SIMATIC S7 a zahrnuje panelový počítač s WinCC pro ovládání a vizualizaci procesů.

Inzerát byl přeložen automaticky. Mohou se vyskytnout chyby v překladu.