Zařízení na mokré zpracování waferů
Robotechnik Europe OPTIwet ST30

Name: Robotechnik Europe OPTIwet ST30
Brand: Robotechnik Europe
Availability: InStock

Stav

Použitý

Umístění

Německo

Zařízení na mokré zpracování waferů Robotechnik Europe OPTIwet ST30

Zobrazit mapu

Údaje o stroji

Popis stroje:: Zařízení na mokré zpracování waferů

Výrobce:: Robotechnik Europe

Model:: OPTIwet ST30

Stav:: připraven k použití (použité)

Cena a lokalita

Umístění:: Deutschland

Volejte

Podrobnosti nabídky

ID výpisu:: A206-18495

Referenční č.:: INNO30389

Naposled aktualizováno:: 26.11.2025

Popis

Zařízení pro mokrochemické zpracování waferů do 12", substrátů do X/Y 9"/9", samostatné šasi, procesní moduly, procesní komora z PP, 2 programovatelné mediální ramena, otáčky 1-4000 ot./min, akcelerační rampa 1-3000 ot./min, čas otáčení 1-999 s, procesní miska odtah 2x DN110, komora 2x DN110, kryt 1x DN110, řízení 1x DN110 (každý 200 m³/h), CDA 8+/-2 bar, vakuum -0,8+/-0,2 bar, dusík 4,0+/-0,5 bar, 3 mediální výpusti, odpadní box pro 2 koncentrátové odpady, box na reagenční lahve s tlakovou nádobou, 4 Julabo termostatické lázně. Zařízení bylo při demontáži rozebráno. Prohlídka možná po dohodě.
Nwedpfx Asxzii Usfmop

Inzerát byl přeložen automaticky a mohou se vyskytnout chyby překladů.