Pfeiffer C590 PVD napařovací systém

Pfeiffer C590

Příležitost:
2x Pfeiffer Classic 590 k dispozici!
Cena: 99 500 EUR za kus.
Konfigurace Coater 1:

2x Pfeiffer TPH 2301 (2300ls) kompletně zrekonstruovaný
Pfeiffer DCU 600
2x škrticí klapka DPH 64048-pe48-ads2/0001
1x plnorozsahový snímač Pfeiffer PKR251
Pfeiffer TPR280 pro předvysávání
Předčerpávací čerpadlo Pfeiffer DUO 120 (120m3/h)
Vakuová komora:
pro velikost substrátu kulatého 840 mm
včetně stínění a náhradní sady stínění
2x viewport
Několik průchodek
Rotační průchodka včetně termočlánku
Infračervený ohřívač
Ventily Watermanifold plus
Vakuové ventily pro odvzdušňování, odčerpávání atd.
Poznámky: V současné době se používá pro odpařování odporu (nejsou k dispozici žádné lodě)

Stávající PLC a E-skříň je odstraněna z důvodu IP. Nicméně: v případě potřeby může naše společnost Orange Thin Films provést kompletní rekonstrukci s automatizací Labview a novými procesy (např. Eeam-Sputtering-Evaporation atd.).
Fgodpfx Agohwv Tfswoh


Konfigurace Coater 2:

2x Pfeiffer TPH 2201 s p c (horizontální turbo 2200ls) kompletně zrekonstruovaný
Pfeiffer DCU 600
2x škrticí klapka DPH 64048-pe48-ads2/0001
1x plnorozsahový snímač Pfeiffer PKR251
Pfeiffer TPR280 pro předvysávání
Předčerpávací čerpadlo Pfeiffer DUO 120 (120m3/h)
Vakuová komora:
pro velikost substrátu kulatého 840 mm
včetně stínění a náhradní sady stínění
2x viewport
Několik průchodek
Rotační průchodka včetně termočlánku
Infračervený ohřívač
Ventily Watermanifold plus
Vakuové ventily pro odvzdušňování, odčerpávání atd.
Poznámky: Proud používaný pro odporové odpařování (lodě nejsou k dispozici)
Stávající PLC a E-skříň je odstraněna z důvodu IP. Nicméně: v případě potřeby ou
[...]

Inzerát byl přeložen automaticky a mohou se vyskytnout chyby překladů.